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where Dhkl is the crystallite size,
where Dhkl is the crystallite size, λ is the X-ray wavelength 1.5406 Å Cu, β is full width at half-maximum (FWHM) and θ is the angle reflection of (111) direction. The crystallite sizes of all films are relatively small in comparison to the values of other transition metal compounds such as TiN, TiC and CrN, having a grain size in the range 9–18 nm depending on the nitrogen partial pressure. The calculated grain sizes and the lattice parameters from (111) diffraction peak are shown in Fig. 2.
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其中Dhkl為微晶尺寸，λ為X射線波長1.5406ÅCu，β為半峰全寬（FWHM），θ為（111）方向的角度反射。與其他過渡金屬化合物（例如TiN，TiC和CrN）相比，所有膜的微晶尺寸都相對較小，取決於氮分壓，其晶粒尺寸在9-18 nm範圍內。由（111）衍射峰計算出的晶粒尺寸和晶格參數如圖2所示。
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其中 Dhkl 是晶體大小,α 是 X 射線波長 1.5406 α Cu,α 是半最大值 (FWHM) 的全寬,= 是 (111) 方向的角度反射。與其他過渡金屬化合物(如TiN、TiC和CrN)的值相比,所有薄膜的晶體尺寸相對較小,根據氮部分壓力,其粒度在9~18nm範圍內。圖 2 顯示了 (111) 衍射峰值的計算顆粒尺寸和晶格參數。
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式中，Dhkl是微晶尺寸，λ是X射線波長1.5406íCu，β是半最大全寬（FWHM），θ是（111）方向的角反射。與其他過渡金屬化合物（如TiN、TiC和CrN）相比，所有薄膜的微晶尺寸相對較小，晶粒尺寸在9-18nm範圍內，這取決於氮分壓。由（111）繞射峰計算出的晶粒尺寸和晶格參數如圖2所示。<br>
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