1.Verify that focus, astigmatism an

1.Verify that focus, astigmatism and coma are small enough to be corrected within 30 N rms force budget.2.Determine radius of curvature to 0.3 mm.Determine off-axis distance to 1 mm.

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1.Verify该聚焦，像散和彗差是内30 N均方根力预算被校正足够小。 2.Determine曲率半径至0.3mm。 确定离轴距离为1毫米。

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1.Verify that focus, astigmatism and coma are small enough to be corrected within 30 N rms force budget. 2.Determine radius of curvature to 0.3 mm. Determine off-axis distance to 1 mm.

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1.验证焦距、散光和昏迷足够小，可以在30 N rms力预算内纠正。 2.确定曲率半径为0.3 mm。 确定离轴距离为1 mm。

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