Other techniques have been used as well to fabricate narrow electron g的简体中文翻译

Other techniques have been used as

Other techniques have been used as well to fabricate narrow electron gas channels. We mention selective-area ion implantation using focused ion beams,81 masked ion beam exposure, strain-induced confinement,83 lateral p-n junctions, gates in the plane of the 2DEG, and selective epitaxial growth. For more detailed and complete accounts of nanostructure fabrication techniques, we refer to Refs.9 and13,14,15
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其它技术已被用来以及制造窄电子气通道。我们使用聚焦离子提选择性区域离子注入束,81掩蔽的离子束暴露,应变诱导禁闭,83个的横向pn结,在2DEG的平面上,并且选择性外延生长栅极。对于纳米结构制造技术更详细和完整的账户,我们指的是Refs.9 and13,14,15
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其他技术也被用于制造狭窄的电子气体通道。我们提到选择性区域电子植入使用聚焦的电束、81掩蔽的电束照射、应变诱导的封闭、83 个横向 p-n 结、2DEG 平面中的门和选择性外延生长。有关纳米结构制造技术的更详细和完整的描述,请参阅 Refs.9 和 13,14,15
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其他技术也被用来制造窄电子气通道。我们提到选择性区域离子注入使用聚焦离子束,81掩蔽离子束曝光,应变诱导限制,83个横向p-n结,在2DEG平面中的栅极,以及选择性外延生长。有关纳米结构制造技术的更详细和完整的说明,请参阅参考文献9和13、14、15
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