选择磨粒粒径，压入深度，各向异性的GaAs材料等参数为划痕形成的影响因

选择磨粒粒径，压入深度，各向异性的GaAs材料等参数为划痕形成的影响因素。

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The parameters such as abrasive grain size, indentation depth, and anisotropic GaAs material are the influencing factors for the formation of scratches.

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Select the grinding particle size, press into depth, anisotropy gaAs material and other parameters are the influence factors of scratch formation.

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The parameters such as particle size, indentation depth and anisotropic GaAs material were selected as the influencing factors of scratch formation.<br>

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