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ニッケルの融点は1455℃程度であり、融点付近では十分に蒸気圧を上げる
ニッケルの融点は1455℃程度であり、融点付近では十分に蒸気圧を上げることができる。溶融したニッケルは図1中の5である。図示しない温度センサーにより、溶融ニッケルの温度を測り、1600℃で定温保持となるように設定した。結果として成膜対象3にはニッケルの膜が十分な速度で形成でき、また、形成された膜からはニッケル以外の成分は検出されなかった。金属蒸発用モリブデンるつぼは繰り返しの使用でも、変形や反応などの不具合は少なく、長時間使用できた。
ニッケルの融点は1455℃程度であり、融点付近では十分に蒸気圧を上げることができる。溶融したニッケルは図1中の5である。図示しない温度センサーにより、溶融ニッケルの温度を測り、1600℃で定温保持となるように設定した。結果として成膜対象3にはニッケルの膜が十分な速度で形成でき、また、形成された膜からはニッケル以外の成分は検出されなかった。金属蒸発用モリブデンるつぼは繰り返しの使用でも、変形や反応などの不具合は少なく、長時間使用できた。
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镍的熔点为约1455℃,并且可以在熔点附近充分提高蒸汽压。图中熔融镍为5。熔融镍的温度由温度传感器(未显示)测量,并设置为保持1600°C的恒定温度。结果,可以以足够的速率在成膜对象3上形成镍膜,并且从形成的膜中未检测到除镍以外的其他成分。即使重复使用,用于金属蒸发的钼罐也几乎没有诸如变形和反应之类的问题,并且可以长期使用。
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镍的熔点约为1455°C,在熔点附近可以充分提高蒸汽压力。 熔融镍是图 1 中的 5。 温度传感器(未显示)测量熔融镍的温度,并设置为在 1600°C 下保持恒定温度。 因此,在沉积目标3中,镍膜可以以足够的速度形成,并且,从形成的膜中未检测到镍以外的组分。 金属蒸发用钼熔炉即使反复使用,变形和反应等故障也较少,可以长时间使用。
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镍的熔点在1455℃左右,熔点附近可以充分提高蒸汽压力。熔融的镍是图1中的5。通过未图示的温度传感器测量熔融镍的温度,设定为在1600℃保持恒温。结果,在成膜对象3中可以以充分的速度形成镍的膜,并且,在形成的膜中没有检测出镍以外的成分。金属蒸发用的钼罐即使反复使用,变形和反应等问题也很少,可以长时间使用。<br>
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