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As thin film composition influences
As thin film composition influences the morphology, the stress state and the mechanical properties, modifications are expected in this study where the nitrogen content is tuned. The film exhibits a polycrystalline structure with preferred orientation along (111) plane. The increase of the nitrogen content in the coating (N/Mo =1.1) induces a broadening of the full width at half maximum (FWHM) of the (111) diffraction peak, which is attributed to the presence of smaller crystallites. The residual stress and mechanical properties variation were correlated to the structural transition from γ-Mo2N to hexagonal and cubic MoN. The results show a good agreement between the nanomechanical properties obtained by nanoindentation and PF-QNM.
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由於薄膜成分會影響形貌，應力狀態和機械性能，因此在本研究中希望對其中的氮含量進行微調。該膜表現出具有沿（111）平面的優選取向的多晶結構。塗層中氮含量的增加（N / Mo = 1.1）導致（111）衍射峰的半峰全寬（FWHM）變寬，這歸因於存在較小的微晶。殘餘應力和力學性能變化與從γ-Mo2N到六方和立方MoN的結構轉變有關。結果表明，通過納米壓痕獲得的納米力學性能與PF-QNM之間具有良好的一致性。
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由於薄膜成分影響形態、應力狀態和機械特性,本研究中對氮含量進行調優,需要進行修改。薄膜呈現多晶結構,沿 (111) 平面具有首選方向。塗層中氮含量的增加 (N/Mo ±1.1) 導致全寬在 (111) 衍射峰的半最大值 (FWHM) 下擴大,這歸因於較小的晶體岩的存在。殘餘應力和機械性能變化與從+-Mo2N到六邊形和立方摩爾的結構轉換相關。結果表明,納米縮進和PF-QNM獲得的納米力學性能之間取得了良好的一致。
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由於薄膜成分會影響薄膜的形貌、應力狀態和力學性能，囙此本研究希望對氮含量進行調整。薄膜表現出沿（111）面擇優取向的多晶結構。塗層中氮含量的新增（N/Mo=1.1）導致（111）繞射峰半峰寬（FWHM）變寬，這是由於存在較小的微晶。殘餘應力和力學性能的變化與γ-Mo2N向六方和立方結構轉變有關。結果表明，納米壓痕法測得的納米力學性能與PF-QNM有很好的一致性。<br>
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