根据产生腐蚀气体方式，可分为反应法气相刻蚀和热蒸法气象刻蚀，反应装置如

根据产生腐蚀气体方式，可分为反应法气相刻蚀和热蒸法气象刻蚀，反应装置如图8所示

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According to the method of generating corrosive gas, it can be divided into reactive gas phase etching and thermal steaming meteorological etching. The reaction device is shown in Figure 8.

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According to the mode of producing corrosive gas, it can be divided into reaction gas phase etching and thermal steaming meteorological etching, the reaction device is shown in Figure 8.

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According to the way of producing corrosive gas, it can be divided into reactive vapor etching and thermal vapor etching. The reaction device is shown in Fig. 8

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