使我们困惑的是,更换硅烷气源和管路上的过滤器,都只能短暂的改善多晶颗粒

使我们困惑的是,更换硅烷气源和管路上的过滤器,都只能短暂的改善多晶颗粒异常,工艺到第六次就会出现问题.

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What confuses us is that replacing the silane gas source and the filter on the pipeline can only temporarily improve the abnormal polycrystalline particles, and problems will occur in the sixth process.

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To our bewilderment, replacing the silane gas source and the filter on the pipeline can only briefly improve the polysilicon particle anomaly, and the process will have problems by the sixth time.

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What puzzles us is that changing the silane gas source and the filter on the pipeline can only temporarily improve the abnormal polycrystalline particles, and the process will have problems in the sixth time<br>

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