Buffered Oxide Etchant Post-Treatme

Buffered Oxide Etchant Post-Treatment of a Silicon Nanofilm for Low-Cost and Performance-Enhanced Chemical Sensors.Min Gao,Zhi-Jun Zhao,Hyeonggyun Kim,Mingliang Jin,Panpan Li,Taehwan Kim,Kyungnam Kang,Incheol Cho,Jun-Ho Jeong,Inkyu ParkACS applied materials & interfaces

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用于低成本和性能增强型化学传感器的硅纳米膜的缓冲氧化物刻蚀后处理。 高敏，赵志军，金炯yun，金明良，李盼盼，金Ta万，姜庆南，赵仁哲，郑俊镐，Inkyu Park ACS应用的材料和界面

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用于低成本和高性能增强型化学传感器的硅纳米膜的缓冲氧化物蚀刻处理后。 赵敏俊、赵志军、金贤云、金明良、潘潘丽、金泰焕、金建南康、赵英哲、俊浩、金玉公园 ACS 应用材料和接口

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缓冲氧化物蚀刻剂后处理硅纳米薄膜低成本和性能增强化学传感器。 高敏、赵志军、金贤云、金明良、李潘潘、金泰焕、康京南、赵仁俊、何俊珍、朴恩玉 ACS应用材料与接口

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