Micromachining technology is enabli

Micromachining technology is enabling the extension of semiconductor-based sensing beyond temperature,magnetic, and optical effects to produce mechanical structures in siliconand sense-mechanical phenomena. Many universities are creating crossdepartments and cross-college programs to explore the future possibilities ofmicromachined MEMS devices.

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微加工技术正在使基于半导体的传感技术扩展到温度，磁和光学效应之外，从而产生硅的机械结构 和传感机械现象。许多大学正在创建跨部门和跨学院的计划，以探索 微机械MEMS器件的未来可能性。

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微加工技术使基于半导体的传感扩展到温度、磁性和光学效应之外，从而在硅中产生机械结构 和感力学现象。许多大学正在创建跨部门和跨学院课程，以探索未来的可能性 微机MEMS设备。

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微加工技术使得基于半导体的传感技术能够超越温度、磁场和光学效应，在硅中产生机械结构 感知机械现象。许多大学正在创建跨系和跨学院项目，以探索未来 微机械化MEMS器件。

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