• Problem scenario example 1 (short

• Problem scenario example 1 (short firing pattern based on customer EUV test lot)o P3 PZT voltage typically below 22 volts and P4 DPZT voltage below 550. In this condition, soft track movement is prevented due to the P4 DPZT voltage being below 550.o IBIS algorithm should try to find the appropriate IBI to initiate a reset but couldn’t execute due to the burst length are only 100 pulses continuously (

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• 问题场景示例 1（基于客户 EUV 测试批次的短触发模式） o P3 PZT 电压通常低于 22 伏，P4 DPZT 电压低于 550。在这种情况下，由于 P4 DPZT 电压低于 550，软轨道移动被阻止。 o IBIS 算法应尝试找到适当的 IBI 来启动复位，但由于突发长度仅为连续 100 个脉冲而无法执行（

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•问题场景示例1（基于客户EUV测试批次的短点火模式） o P3 PZT电压通常低于22伏，P4 DPZT电压低于550伏。在这种情况下，由于P4 DPZT电压低于550，软磁道移动被阻止。 o IBIS算法应尝试找到合适的IBI来启动重置，但由于突发长度只有100个脉冲而无法执行(

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问题场景示例1(基于客户EUV测试批次的短点火模式) P3 PZT电压通常低于22伏，而P4 DPZT电压低于550伏。在这种情况下，由于P4 DPZT电压低于550，软磁道移动被阻止。 o IBIS算法应尝试找到合适的IBI来启动复位，但由于脉冲串长度只有100个连续脉冲而无法执行(

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