TOOL CONTROL COMPONENTSQty Descript

TOOL CONTROL COMPONENTSQty Description1 Control Tower with PDU, Tool Controller & GUI – AKS v7 GAMA Software1 Tool-Mount GUI/HMI with Swivel Arm on the Right Side of Tool1 Class 1 Mini Environment3 EMO Button3 Robot Stop Button- Hold-Down Brackets- Facility Power Requirement: 208VAC, 3-Phase1 CO2 Fire Detection & Suppression System for LuCID4 Dryer Only1 UPS Backup System with ≥ 600 seconds backup time after primary power loss –UPS powers control system and robot but does not power process components, such as pumps, heaters and other tank-related items.PRICING SUMMARYINCLUDED WITH PURCHASE Qty. 1 – Ozone Generator Cabinet for DHM/DIO3 module 1 Non-Chemical Facilities Hookup – NAURA Akrion to provide & install manifold connections for DI water, city water, N2 and CDA supply and return lines. Packaging per NAURA Akrion’s Specifications Crating for International Shipment Installation at Customer Tool Site Process Setup & Qualification of GAMA Wet Station System Documentation – Drawing Sets, Parts Lists & User Manuals in English Training o 4 Operator Credits at Customer Tool Siteo 4 Maintenance Credits at NAURA Akrion, Allentown, PA 1-Year Parts & Labor Warranty FM 4910 & NFPA Compliant Materials of Construction Equipment is SEMI S2-1102, S8-0701 & CE CompliantWet Station Price......................................................................................................... $ USDInstallation Price.......................................................................................................... $ USDTotal Price .................................................................................................................... $ USDOPTIONAL UPGRADES Filter Housing and Cartridge for DI Water in LuCID4 Dyer Module 11 ........................ $ USD 20” PFA – 5nm Filter Cartridge Mezzanine Behind Wet Station for Rear Module Access ............................................. $ USD NAURA Akrion will hire local contractor to build and install mezzanine Pre-Filters on Top of Mini E FFU’s................................................................................. $ USD 12 Pre-Filters Required

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工具控制组件 数量说明 1带有PDU，工具控制器和GUI的控制塔– AKS v7 GAMA软件 1带有在工具右侧的旋转臂的工具安装GUI / HMI 1级1迷你环境 3 EMO按钮 3机器人停止按钮 -保持向下托架 -设施电源要求： 用于LuCID4干燥机的208VAC，三相1 CO2火灾探测和抑制系统 一次断电后，只有1个UPS备用系统，备用时间≥600秒– UPS为控制系统和机器人供电，但不给过程供电组件，例如 泵，加热器和其他与储罐相关的物品。购买 随附的定价摘要数量。1 –用于DHM / DIO3模块的臭氧发生器柜1 非化学设施连接– NAURA Akrion提供和安装DI 水，城市水，N2和CDA供水和回水管线的歧管连接。 根据NAURA Akrion的规格进行包装 用于国际装运的板条箱 在客户工具现场进行 安装GAMA湿站的工艺设置和资格 系统文档–图纸集，零件清单和英文用户手册  在客户工具现场培训4个操作员信用 o在宾夕法尼亚州阿伦敦的NAURA Akrion获得4个维护积分 一年零件和人工保修 符合FM 4910和NFPA的建筑材料 设备符合SEMI S2-1102，S8-0701和CE要求 湿站价格............................................... ................................................... ........ $ USD 安装价格..................................... ................................................... .................. $ USD 总价格............................... ................................................... ...................................... $ USD 可选升级 用于去离子水的过滤器外壳和滤芯in LuCID4 Dyer Module 11 .................................. $ USD20 英寸PFA – 5nm滤芯 湿站后面的夹层，用于后部模块检修.. $ USDNAURA Akrion将聘请当地承包商来建造和安装夹层 在Mini E FFU顶部的预过滤器.................................................... ......................................... $ USD需要12个预过滤器

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刀具控制组件 数量描述 1 控制塔与 PDU，工具控制器 + GUI + AKS v7 GAMA 软件 1 工具安装 GUI/HMI，工具右侧带旋转臂 1 类 1 迷你环境 3 EMO 按钮 3 机器人停止按钮 - 按住支架 - 设施电源要求：208VAC，三相 仅限 LuCID4 干燥机的 1 个 CO2 火灾检测和抑制系统 1 个 UPS 备份系统，主要断电后备份时间为 + 600 秒 | UPS 为控制系统和机器人供电，但不为过程组件供电，例如 泵、加热器和其他与油箱相关的物品。 定价摘要 随购买一起提供 • Qty. 1 = DHM/DIO3 模块 1 的臭氧发生器机柜 • 非化学设施连接 – NAURA Akrion 提供和安装 DI 的歧管连接 水，城市水，N2和CDA供应和返回线。 • 根据 NAURA Akrion 规格包装 • 国际货件的装箱 • 在客户工具现场安装 • GAMA 湿站的过程设置和资格认证 • 系统文档 • 绘图集、部件列表和英语用户手册 • 培训 o 4 客户工具站点的操作员积分 o 4 在宾夕法尼亚州艾伦敦纳乌拉阿克里翁的维护学分 • 1 年零件 + 人工保修 • FM 4910 + 符合 NFPA 的建筑材料 • 设备符合 SEMI S2-1102、S8-0701 和 CE 标准 湿站价格... 安装价格... 总价... 可选升级 • LuCID4 Dyer 模块 11 中的 DI 水过滤外壳和墨盒 11 .......$USD • 20" PFA = 5nm 滤芯 • 湿站后面的夹层，用于后模块访问 ... • NAURA Akrion 将聘请当地承包商来建造和安装夹层 • 迷你 E FFU 顶部的预过滤器... • 需要 12 个预过滤器

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刀具控制部件 数量说明 1个带PDU、工具控制器和图形用户界面的控制塔-AKS v7 GAMA软件 1个工具安装图形用户界面/人机界面，旋转臂位于工具右侧 一级小型环境 3 EMO按钮 3机器人停止按钮 -下压托架 -设备电源要求：208VAC，三相 仅适用于LuCID4干燥机的1个二氧化碳火灾探测和灭火系统 1个UPS备用系统，主电源断电后的备用时间≥600秒- UPS为控制系统和机器人供电，但不为过程部件供电，如 泵、加热器和其他与储罐相关的物品。 定价摘要 包含在采购中 数量。1–DHM/DIO3模块1的臭氧发生器柜 非化学设施连接-NAURA Akrion为DI提供和安装歧管连接 水、城市水、氮气和CDA供应和回流管线。 按照NAURA Akrion规范包装 国际装运装箱 在客户工具现场安装 GAMA湿站的工艺设置和鉴定 系统文件-图纸集、零件清单和英文用户手册 培训 o 4客户工具现场的操作员积分 o 4宾夕法尼亚州阿伦顿NAURA Akrion的维护信用 一年零件和劳动保修 符合FM 4910和NFPA标准的建筑材料 设备符合半S2-1102、S8-0701和CE标准 湿站价格。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。美元 安装价格。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。美元 总价。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。美元 可选升级 用于LuCID4染料模块11中去离子水的过滤器外壳和滤筒。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。美元 20“PFA–5nm滤筒 湿站后面的夹层，用于后模块接入。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。美元 NAURA Akrion将雇佣当地承包商建造和安装夹层 ·微型FFU上的预滤器。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。美元 需要12个预滤器

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