【特許請求の範囲】【請求項１】石英ガラスからなる放電容器の内部に誘電体

【特許請求の範囲】【請求項１】石英ガラスからなる放電容器の内部に誘電体バリア放電によってエキシマ分子を生成する放電用ガスが充填されて放電空間が形成され、この放電容器の少なくとも一部に光出射窓が形成されている誘電体バリア放電ランプと、前記光出射窓を除く前記放電容器外表面上に当該ランプを冷却するための冷却手段を具備してなる誘電体バリア放電ランプ装置において、前記放電容器には、前記冷却手段により冷却される部位に対応して、放電空間側表面上に、紫外線反射膜及び／又は紫外線吸収膜が形成されていることを特徴とする誘電体バリア放電ランプ装置。【請求項２】 前記紫外線反射膜が、ＳｉＯ2、Ａｌ2Ｏ3、ＣａＦ2、ＬｉＦ、ＭｇＦ2、ＢａＦ2のいずれか１種以上の物質の粉末の膜からなることを特徴とする請求項１に記載の誘電体バリア放電ランプ装置。【請求項３】 前記紫外線吸収膜が、ＴｉＯ2、ＣｅＯ2、ＺｒＯ2のいずれか１種以上の物質の粉末の膜からなることを特徴とする請求項１に記載の誘電体バリア放電ランプ装置。