Mature MEMS Class II CVGs are exemp

Mature MEMS Class II CVGs are exemplified by the BAE/AIS/ Goodrich/ UTC and Silicon Sensing vibrating ringgyroscope. While this Class II device is potentially capable ofself-calibration, its performance is limited by relatively highARW resulting from the low modal mass, low angular gain,and insufficient ringdown time constant. These fundamentallimitations of existing micromachined Class II CVGs call for anew design paradigm, which is tailored to take advantage ofthe inherent strength of MEMS.

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成熟的 MEMS II 类 CVG 以 BAE/ AIS/Goodrich/UTC 和 Silicon Sensing 振动环 陀螺仪为例。虽然这种 II 类设备具有潜在的 自校准能力，但其性能受到由于 低模态质量、低角增益 和振铃时间常数不足导致的相对高ARW 的限制。 现有微机械加工的 II 类 CVG 的这些基本限制需要一种 新的设计范式，该范式旨在利用 MEMS 的固有优势。

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成熟的MEMS II类CVG的例子是BAE/ AIS/Goodrich/UTC和硅感应振动环 陀螺仪而该II类设备可能能够 自校准，其性能受到相对较高的限制 由低模态质量、低角增益产生的ARW， 以及振铃时间常数不足。这些基本的 现有微机械II类CVG的局限性要求 新的设计范式，专门针对 MEMS的固有强度。

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成熟的微机电系统二级电容式电压互感器的例子是英国宇航系统公司/AIS/古德里奇/联合技术公司和硅传感振动环陀螺仪。虽然这种二级设备有可能自校准，其性能受到相对较高的限制低模态质量、低角度增益，和不足的振铃时间常数。这些基本的现有微机械二类电容式电压互感器的局限性要求新的设计范例，它是为利用微机电系统的内在力量。

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