Figure 12 shows the deviation from the best-fit sphere, before and aft的简体中文翻译

Figure 12 shows the deviation from

Figure 12 shows the deviation from the best-fit sphere, before and after applying corrections based on the reference DMIs. The rms deviation is 1.4 µm with no DMI correction, and 0.75 µm after the DMI correction. An optical interferometer measurement was made at about the same time as the Laser Tracker Plus measurement. The optical data shows that the mirror surface has about 50 nm rms astigmatism (which will be corrected in operation, along with other low-order aberrations, by the adjustable support) and 40 nm rms in other figure error. The 0.75 µm deviation of the corrected tracker data reflects the accuracy of the Laser Tracker Plus system in this geometry.
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Figure 12 shows the deviation from the best-fit sphere, before and after applying corrections based on the reference DMIs. The rms deviation is 1.4 µm with no DMI correction, and 0.75 µm after the DMI correction. An optical interferometer measurement was made at about the same time as the Laser Tracker Plus measurement. The optical data shows that the mirror surface has about 50 nm rms astigmatism (which will be corrected in operation, along with other low-order aberrations, by the adjustable support) and 40 nm rms in other figure error. The 0.75 µm deviation of the corrected tracker data reflects the accuracy of the Laser Tracker Plus system in this geometry.
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图 12 显示了在应用基于参考 D它进行校正之前和之后与最适合球体的偏差。rms 偏差为 1.4 μm,无 DMI 校正,DMI 校正后为 0.75 μm。光学干涉仪测量与激光跟踪器 Plus 测量的时间大致相同。光学数据显示,镜面具有约 50 nm rms 散光(将在操作中通过可调支撑进行校正,以及其他低阶畸变)和其他图形误差中的 40 nm rms。校正的跟踪器数据的 0.75 μm 偏差反映了此几何体中的激光跟踪器 Plus 系统的准确性。
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图12显示了在应用基于参考DMIs的校正之前和之后,与最佳拟合球体的偏差。在没有DMI校正的情况下,均方根偏差为1.4μm,在DMI校正后,均方根偏差为0.75μm。在激光跟踪器+测量的同时进行了光学干涉测量。光学数据表明,反射镜表面的像散约为50nm均方根(在运行中,可通过可调支架与其他低阶像差一起进行校正),在其他图形误差下为40nm均方根。修正后的跟踪器数据的0.75μm偏差反映了激光跟踪器Plus系统在该几何结构中的精度。<br>
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