Commonly known as a low-pass filter

Commonly known as a low-pass filter.• This filter is equivalent to λs for line roughness defined byISO 4287.• Eliminates noisy data that varies based on the size of beamspot. This will vary based on the objective lens chosen forthe analysis. (see below for explanation)

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俗称低通滤波器。 •该滤波器等效于 ISO 4287 定义的线粗糙度的λs。 •消除了根据束 斑大小而变化的噪声数据。这将根据为 分析选择的物镜而变化。（请参阅下面的说明）

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通常称为低通滤波器。 • 此滤波器相当于由 ISO 4287. • 消除因光束大小而异的嘈杂数据 点。这将因选择 分析。（请参阅下文说明）

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通常称为低通滤波器。 •该过滤器相当于λs，用于线粗糙度，定义如下： ISO 4287。 •消除因光束大小而变化的噪声数据 斑点。这将根据所选的物镜而有所不同 分析。（解释见下文）

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