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PVD500 OX 成膜后AOI偶发飘高且有上升趋势，确认Run 货履

PVD500 OX 成膜后AOI偶发飘高且有上升趋势，确认Run 货履历发现连续Run货AOI会有上升趋势；造成不能连续Run货

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PVD500 OX 成膜後、AOI が時々高くなり上昇傾向となることがあり、運転記録を確認したところ、連続運転中に AOI が上昇傾向となり、連続運転できなくなる場合がありました。

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PVD 500 OX成膜後AOIは偶発的に高く上昇傾向があり、Run貨物の履歴を確認すると連続Run貨物AOIが上昇傾向にあることが分かった、連続してRunできない商品を引き起こす

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PVD500 OX成膜後、AOIは偶発的に高く上昇傾向にあり、Run品の履歴を確認したところ、連続Run品のAOIは上昇傾向にある；連続してRunできない

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