본 발명의 목적은 상기와 같은 문제점을 감안한 것으로서, 여러

본 발명의 목적은 상기와 같은 문제점을 감안한 것으로서, 여러 가지 타겟을 사용하여 RF 스퍼터링 법을 사용하는 것이 아닌 3성분계 조성이 한 타겟으로 이루어져 있고 불순물의 고용이 잘 이루어져 타겟의 저항이 낮아 DC스퍼터링이 가능하여 산업적으로 이용이 가능한 산화아연계 스퍼터링 타겟을 제공하는 것이다.

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本发明的目的是考虑到上述问题，并且三组分组合物由一个靶组成，而不是使用使用各种靶的RF溅射方法，并且杂质的固溶性良好，使得靶的电阻低，使得可以进行DC溅射。可以提供可以在工业上使用的基于氧化锌的溅射靶。

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本发明的目的是考虑到上述问题，使用各种目标，而不是使用射频溅射法由一个目标组成，并且杂质的利用良好，目标电阻较低，提供工业可用的氧化亚联溅射靶。

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本发明的目的是考虑到上述问题，并不是使用各种目标使用RF冲压法，而是由三成分系组成一个目标，杂质雇佣顺利，目标抵抗低，可以进行DC冲压，产业上可以利用也就是说，提供可能的氧化锌系统推杆目标。<br>

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