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Based on the calculated results, it

Based on the calculated results, it is clear that the end of range for 3 MeV proton far exceeds the base and the DLTS-probed region, and displacement and ionization absorbed dose change slightly with the depth of the device chip. The ionization dose of 3 MeV proton with the fluences of 4.16 × 1011 p/cm2, 1.04 × 1012 p/cm2 and 2.08 × 1012 p/cm2, are about 5.90 × 105 rad, 1.47 × 106 rad and 2.95 × 106 rad, respectively. The displacement dose of 3 MeV proton with the fluences of 4.16 × 1011 p/cm2, 1.04 × 1012 p/cm2 and 2.08 × 1012 p/cm2, are about 1000 rad, 500 rad and 200 rad, respectively.
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基于计算出的结果,很清楚的是,范围3兆电子伏的质子端远远超过所述基座和所述DLTS探查区域,和位移和电离吸收剂量变化与器件芯片的深度略。3 MeV的质子的电离剂量的4.16×1011的p /平方厘米的能量密度,1.04×1012的p /平方厘米和2.08×1012的p / cm 2时,为约5.90×105拉德,1.47×106弧度和2.95×106弧度,分别。3 MeV的质子与4.16×1011的p / cm 2的能量密度的,1.04×1012的p /平方厘米和2.08×1012的p / cm 2的位移量,是约1000拉德,500弧度和200拉德,分别。
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根据计算结果,3 MeV质子的范围末端明显超过基部和DLTS探针区域,位移和电离吸收剂量随器件芯片深度略有变化。3 MeV 质子的电电剂量分别为 4.16 × 1011 p/cm2、1.04 × 1012 p/cm2 和 2.08 = 1012 p/cm2,分别为约 5.90 × 105 rad、1.47 × 106 rad 和 2.95 = 106 rad。3 MeV 质子的位移剂量分别为 4.16 × 1011 p/cm2、1.04 × 1012 p/cm2 和 2.08 = 1012 p/cm2,分别为约 1000 rad、500 rad 和 200 rad。
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计算结果表明,3 mev质子的射程远超过基区和dlts探测区,位移和电离吸收剂量随器件芯片深度的变化不大。3 MeV质子电离剂量随4.16×××1011 P/cm~2,1.04 1012 P/cm~2和2.08 1012 P/cm~2和1.04 1012 P/cm~2和1.04 1012 P/cm~2分别为8239;拉德。3 mev质子在4.16×1011 p/cm~2、1.04×1012 p/cm~2和2.08××1012 p/cm~2影响下的位移剂量分别约为1000 rad、500 rad和200 rad。<br>
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