为研究GaAa材料在纳米划擦过程中，形成的划痕的创成特性，本文从磨粒粒

为研究GaAa材料在纳米划擦过程中，形成的划痕的创成特性，本文从磨粒粒径、划擦深度以及不同晶面晶向等方面为研究对象

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In order to study the generative characteristics of the scratches formed during the nano-scratching process of GaAa materials, this paper focuses on the aspects of abrasive grain size, scratch depth and different crystal plane orientation

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In order to study the creating characteristics of the scratches formed by GaAa materials in the process of nano-scratching, this paper studies the study from the aspects of grinding particle size, scratching depth and different crystal surface crystal direction.

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In order to study the scratch formation characteristics of GAAA materials in the process of nano scratch, this paper focuses on the abrasive particle size, scratch depth and different crystal directions

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