KOH圆滑处理的效果被认为是最佳的，且处理后的硅片轮廓Pt值和绒面结构

KOH圆滑处理的效果被认为是最佳的，且处理后的硅片轮廓Pt值和绒面结构的加权平均高度有大幅度下降，下降幅度分别为20%和30%

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The effect of KOH smoothing treatment is considered to be the best, and the Pt value of the silicon wafer profile after treatment and the weighted average height of the suede structure have been greatly reduced by 20% and 30%, respectively.

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The effect of KOH smoothing treatment is considered to be the best, and after treatment, the PT value of silicon wafer outline and the weighted average height of suede structure are greatly reduced by 20% and 30% respectively<BR>

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